光学影像系列产品

测量显微镜

Optics Image Series Products

Measuring Microscope

在观察测量点的同时，简单操作HISOMET就能够非接触、高精度测量表面的高度或深度。

HISOMET是建立在光学聚焦检测系统基础上的非接触型深度测量显微镜，采用精密焦面指示器（目标标记），在观察一个测量点的表面时，简单使一索引十字线的等分线重合就能测量高度、深度等等。用HISOMET非接触测量时，不会引起样品的变形或任何损伤，用于测量电子元器件（如ICs）和其它精密仪器比较理想。

DH2-AM是在HISOMET的基础上，建立图像处理和高精度步进载物台，设计成由计算机控制和精密自动焦面装置自动测量深度和高度。在过去使用“HISOMET”时，操作者依赖于他们自己目视感知来使两副图像的目标标记重合，为了保证在各类不同操作者之间高可靠性而无偏差的测量，应采用图像处理自动对焦方式。另外通过将测量点告知计算机能够完成微观特征连续多点测量。通过使用特殊的数据处理软件，能够极大的减少测量时间。

■特点：

●非接触测量微观特征的高度/深度。

●目标标记精密调焦机制保证高精度测量。

●光学测量操作更简便。

●高度/深度测量范围最大到10mm，精度在um级。

NSM是一个实用而经济的测量显微镜，操作简便高效。这个显微镜适宜测量精密零部件、刀具、夹具和其它零部件的长度、角度和轮廓，也可用于观察金属表面。Z轴测量可达10mm.

NSM使用高平稳和高亮度照明及专门设计的物镜来增加分辨率，F.N 24mm目镜实现了宽视场观察。

THS-10(手动类型)，Z轴的上下移动是靠手动来操作的，并且通过监视器来完成厚度测量。标准的测量分辨率是1um，但也能够选择0.1um。

THS-20(自动类型，通过Windows 版本增强了操作性)，THS-20是一个自动测量系统，采用自动对焦和脉冲驱动。在这种方式下，自动测量按程序设定完成，包括步进电机预置坐标位置和运动间距的设定。通过采取图像处理和自动调焦，能够保证可靠的重复精度和独立操作。这个操作也因使用Windows窗口用户接口而得到改善，使操作更加简便。

THS-30(全自动类型)，THS-30是一个全自动的测量系统，它适宜于规则晶圆的测量，除了具有THS-20的全部功能之外，还带有晶片上下料装置，有预前校正器和方向校正单元。