天虹精仪科技

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		SPA-500/750----1:2缩小型和等倍型投影曝光器
		SPA-500和SPA-750适用于各种不同光学微电子制造设备:用于信息和光学通信产业的石英晶振器;用于汽车和其它工业的石英谐振器;光电传感器，如发光二极管和半导体激光器;光微型加工设备等。
		使用远心光学系统避免了放大率误差。在50mm曝光区内，有2umL/S分辨率,这使得SPA-500可以在一次曝光时将1:2减影十字线图象均匀地曝光在晶圆上。
		在75mm曝光区内，有5umL/S分辨率,这使得SPA-750可以在一次曝光时将1:1十字线图象均匀地曝光在晶圆上。这两种设备特别适合各种微细线路图形的形成。





		SMA-600FA----全自动非接触双面观察掩膜校准器（用于直径6英寸的晶圆）
		SMA-600FA是一全自动掩膜校准器，用于接触或近距离校准，它集成高精度光学系统和非接触校正装置，并有大到150mm的曝光区。通过设置往返运动器，当更换掩膜时，前期工作很容易完成。这套系统是建立在实现高分辨率（在真空接触时1um L/S）和均匀照明密度（±3%或更小）基础上的，它特别适用于各种不同电子设备，如传感器（压力传感器、加速度传感器）和复合半导体器件（如LDs和LEDs等）的曝光工程。